VLSI KoreaMetrology and inspection cover BEOL applications.
Applied Materials · 근거PROCESS STAGE
Back end of line
BEOL은 웨이퍼 공정 중 배선 형성 부분을 가리킵니다. 계측과 검사는 FEOL과 BEOL 공정에 걸쳐 사용됩니다. 웨이퍼 위의 BEOL 배선과 이후의 조립·패키징·테스트 단계는 구분해야 합니다.
BEOLback-end-of-linemetal stack배선
사양
2 SOURCE-LINKED FIELDS| Context | Manufacturer / primary sourceApplied Materials Scope: concept |
|---|---|
| Associated operations | Manufacturer / primary sourceApplied Materials Scope: concept |
THE VISUAL EVIDENCE
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1 SOURCE-LINKED RELATIONSHIPS출처와 당시의 맥락
Metrology and inspection
Applied Materials · official-disclosure · primary source verified