VLSI KoreaEQUIPMENT
Axcelis Purion XE Series
A high-energy ion-implant family using RF LINAC beamline technology.
Purion XE
사양
4 SOURCE-LINKED FIELDS| Identity & fabrication | |
|---|---|
| Process application | Manufacturer / primary sourceAxcelis Scope: tool-family |
| Additional specifications | |
| Energy range | Manufacturer / primary sourceAxcelis Scope: tool-family |
| Maximum throughput | Manufacturer / primary sourceAxcelis Scope: tool-family |
| Maximum XEmax energy | Manufacturer / primary sourceAxcelis Scope: tool-family |
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출처와 당시의 맥락
Purion XE Series
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