VLSI KoreaEQUIPMENT
Applied Materials Mirra CMP
A 150/200 mm CMP family with integrated post-CMP cleaning options.
Mirra CMP
사양
4 SOURCE-LINKED FIELDS| Identity & fabrication | |
|---|---|
| Process application | Manufacturer / primary sourceApplied Materials Scope: tool-family |
| Process-control options | Manufacturer / primary sourceApplied Materials Scope: tool-family |
| Additional specifications | |
| Supported wafer diameters | Manufacturer / primary sourceApplied Materials Scope: tool-family |
| Planarization hardware | Manufacturer / primary sourceApplied Materials Scope: tool-family |
THE VISUAL EVIDENCE
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출처와 당시의 맥락
Mirra CMP 200mm
Applied Materials · official-disclosure · source linked