VLSI KoreaSEMICONDUCTOR REFERENCE
Nikon
제품·소자·공정·제조 장비의 사양과 원문 출처를 찾아보세요.
사양 조건 검색 문법
cores·threads·clock·boost·l2·l3·tdp·memory·year에 =, >=, <=, >, < 조건을 사용합니다. 기본 단위: GHz, MB, W, GB. 미확인·상충 값은 수치 조건에 포함하지 않습니다.
검색 결과
lithography
| Compare | Tool / family | Process application | Technology / method | Wafer / substrate | Capability |
|---|---|---|---|---|---|
Nikon NSR-S635ENikon · tool model | 300 mm ArF immersion patterningProcess application | unresearched | unresearched | ≤38 nmResolution |