VLSI KoreaEQUIPMENT
Veeco Lumina MOCVD
A Veeco MOCVD system based on TurboDisc technology for compound-semiconductor epitaxy.
Lumina
사양
4 SOURCE-LINKED FIELDS| Identity & fabrication | |
|---|---|
| Process application | Manufacturer / primary sourceVeeco Scope: tool-family Source date: 2024-12-19 |
| Additional specifications | |
| Maximum stated wafer size | Manufacturer / primary sourceVeeco Scope: tool-family Source date: 2024-12-19 |
| Epitaxial material | Manufacturer / primary sourceVeeco Scope: tool-family Source date: 2024-12-19 |
| Listed applications | Manufacturer / primary sourceVeeco Scope: tool-family Source date: 2024-12-19 |
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출처와 당시의 맥락
PlayNitride Selects Veeco’s Lumina MOCVD System
Veeco · official-disclosure · source linked