EQUIPMENT

Onto Innovation Firefly G5

A panel-level packaging system combining automated inspection and 3D metrology.

Firefly G5
Identity & fabrication
Process application
Manufacturer / primary sourceOnto Innovation

Scope: tool-model

Additional specifications
Measurement modes
Manufacturer / primary sourceOnto Innovation

Scope: tool-model

Defect-imaging capability
Manufacturer / primary sourceOnto Innovation

Scope: tool-model

Clearfind capability
Manufacturer / primary sourceOnto Innovation

Scope: tool-model

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출처와 당시의 맥락

Firefly G5 System

Onto Innovation · official-disclosure · source linked